Mikro ve Nanoteknoloji Anabilim Dalı, Temel bilimler ve mühendislik bilimlerinin kendi içlerinde gelişmesi sağlanırken, üretim-uygulama aşamasında ise ortak paydada birleşmesi sağlanabilecek disiplinler arası bir çalışma alanı oluşturmayı hedeflemektedir.
Öğrenciler mikro ve nanoteknoloji temelinde istedikleri alanda kendilerini geliştirme imkanı bulabilecek, çalıştıkları/çalışacakları alanlarla ilgili deneysel çalışmalar yürütebileceklerdir. Nano ve mikro malzemelerin hazırlanması, uygulama alanları, üretim teknolojileri, analizi, analiz yöntemlerinin seçimi ve sonuçların yorumlanması hakkında bilgi sahibi olarak bu bilgilerin teknoloji ile biraraya getirilmesi sonucu yeni ürünler/üretim yöntemlerinin geliştirilmesi sağlanacaktır. Mikro ve Nanoteknoloji Anabilim Dalı altında verilen Tezli Yüksek Lisans programının öğrenim dili Türkçe’dir.
Başlıca araştırma konuları;

• Nanofotonik, Optoelektronik, Mikro ve Nanoelektronik, Nanomagetizma
• Nanomalzemeler
• Mikro ve nanofabrikasyon ve karakterizasyonu
• Nanobioteknoloji, BiyoMEM-BiyoNEM-Biyoçip
• Modelleme ve Hesaplamalar
• Mikro-elektro-mekanik sistemler (MEMS)